更新時間:2024-07-04
愛德華EH4200羅茨泵維修應(yīng)用半導(dǎo)體制程真空蒸餾真空包裝鋼脫氣薄膜覆層真空冶金低密度風(fēng)洞空間模擬真空浸漬油干燥和脫氣制藥冷凍干燥CO2激光
品牌 | Edwards/英國愛德華 | 輸送介質(zhì) | 油泵 |
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泵軸位置 | 臥式 | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 食品,生物產(chǎn)業(yè),電子,航天,汽車 |
愛德華EH4200羅茨泵維修
EH機(jī)械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ),仍是受歡迎的泵,可用于壓力范圍為0.01至10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。機(jī)械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下,因此高度可靠。
應(yīng)用
半導(dǎo)體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風(fēng)洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2激光
功能和優(yōu)勢
適用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的壓力范圍下、需要超過3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高
抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供:
1、安靜的無振動運行。
2、牢靠且防腐蝕。
3、*的軸封技術(shù),處理艙中不會出現(xiàn)油污染
4、防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級鑄鐵制造。
5、經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護(hù)要求降到低。
6、軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化,可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
7、動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小,而這些特點正是*技術(shù)設(shè)備
由二臺或二臺以上的真空泵及其他附件組合一個體系完結(jié)需求的到達(dá)真空度的意圖就叫真空泵體系
真空泵體系規(guī)劃的要害問題是挑選真空抽氣機(jī)組的主泵主泵類型的斷定
1、依據(jù)真空室所需求樹立的極限壓力斷定主泵的類型。通常主泵極限壓力的選取要比真空室的極限壓力低半個到一個數(shù)量級。
2、依據(jù)真空室進(jìn)行技術(shù)出產(chǎn)時所需求的作業(yè)壓力選主泵。應(yīng)正確地挑選主泵的作業(yè)點,在其作業(yè)壓力規(guī)模內(nèi) 愛德華eh4200羅茨泵維修,應(yīng)能掃除真空室內(nèi)技術(shù)過程中發(fā)生的悉數(shù)氣體量。因此,真空室內(nèi)的作業(yè)壓力必定要在主泵的---抽速壓力規(guī)模以內(nèi)。
3、依據(jù)真空室的容積巨細(xì)和需求的抽氣時刻來選主泵。真空室體積巨細(xì)對體系抽到極限真空的時刻有影響。當(dāng)抽氣時刻需求必守時,若真空室體積越大,則主泵抽速也越大。
4、正確地組合真空泵 愛德華eh2600羅茨泵維修,因為真空泵有挑選性地抽氣,因此有時選用一種泵不能滿意抽氣需求,需求幾種泵組合起來,互相彌補(bǔ)才干滿意抽氣需求。
5、若真空體系嚴(yán)厲需求無油時,則應(yīng)當(dāng)選各種無油泵作主泵。假如需求不嚴(yán)厲,則可挑選有油泵,然后加上一些防油污染辦法 愛德華eh1200羅茨泵維修,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能到達(dá)清洗真空需求。
愛德華EH4200羅茨泵維修
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